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單晶硅石墨熱場

在太陽能光伏行業,合格的單晶硅熱場能夠生長出高質量的單晶,因此創造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長的載體,石墨在直拉單晶生長爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。


熱場一般包括壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,未來防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿都設置了保護板和保護套。


加熱器

加熱器是熱場中很重要的部件,是直接發熱體,溫度最高的時候可以達到1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。就信瑞達石墨接觸到的單晶硅加熱器形狀一般都是直筒狀的。一般情況下,加熱器采用的高純石墨加工。


石墨電極

石墨電極的作用平穩固定加熱器并通過他歲加熱器輸送電流。因此在電極要厚重,結實耐用、表面要光滑平穩,保證良好的接觸面,通電時不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。


坩堝托桿、坩堝和托盤共同構成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結合牢固,對中性良好在下軸進行轉動時,托桿及托盤的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調節的。