單晶硅石墨熱場(chǎng)
在太陽(yáng)能光伏行業(yè),合格的單晶硅熱場(chǎng)能夠生長(cháng)出高質(zhì)量的單晶,因此創(chuàng )造良好的熱場(chǎng)條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長(cháng)的載體,石墨在直拉單晶生長(cháng)爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。
熱場(chǎng)一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤(pán)、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,未來(lái)防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿都設置了保護板和保護套。
加熱器
加熱器是熱場(chǎng)中很重要的部件,是直接發(fā)熱體,溫度最高的時(shí)候可以達到1600度以上。常見(jiàn)的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。就信瑞達石墨接觸到的單晶硅加熱器形狀一般都是直筒狀的。一般情況下,加熱器采用的高純石墨加工。
石墨電極
石墨電極的作用平穩固定加熱器并通過(guò)他歲加熱器輸送電流。因此在電極要厚重,結實(shí)耐用、表面要光滑平穩,保證良好的接觸面,通電時(shí)不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。
坩堝托桿、坩堝和托盤(pán)共同構成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結合牢固,對中性良好在下軸進(jìn)行轉動(dòng)時(shí),托桿及托盤(pán)的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調節的。